Howells 等通過氟烷基磺醯鹵化物在非質子溶劑作用下和氟烷基磺醯胺反應製得氟磺基亞胺化閤物，再通過痠化，減壓蒸餾，得到氟磺醯亞胺。Morizaki 等、Sakaguchi等均用較簡化的一步法：三氟甲磺醯氟或三氟甲磺醯氯在三乙胺作催化下直接與榦燥氨氣反應製得雙三氟甲磺醯亞胺三乙胺

鹽，其中 Morizaki Kazuo 和 Sasaki Masanao 進一步將雙三氟甲基磺醯亞胺三乙胺鹽用硫痠痠化得到雙三氟甲基磺醯亞胺。米澤哲夫等另外開髮瞭通過三氟甲磺醯氟或三氟甲磺醯氯與三氟甲磺醯胺和鹼金屬氟化物反應閤成雙三氟甲基磺醯亞胺鹼金屬鹽，再痠化得到 雙三氟甲基磺醯亞胺。